北京原位辐照XPS测试——清析客户检测案例

类别：客户案例 614 2022-10-19

2022年9月22日，有来自北京某半导体研究所的研究生客户对于原位辐照XPS的咨询询问和对接；我们第一时间安排跟客户沟通，了解客户是什么样品测试原位辐照XPS，想通过对应的测试得到什么样品的测试，通过具体的沟通了解明确了客户想要的测试以及常规的条件确认

客户背景

客户是北京某半导体研究所的研究生，想要探究下样品在入射光是氙灯加400CUT滤光片的条件下辐照对应的XPS测试的谱图跟对应的黑暗体条件下对应的元素的精细谱会不会产生变化，产生峰位偏移的原因是不是辐照造成的影响。

Au-MoS2-CdS 粉末样品

粉末样品Au-MoS2-CdS先测试黑暗的，再入射光是氙灯加400CUT滤光片的前提下光照之后再边光照边测试，测试的元素是C、S、Mo、Cd、Au，对比数据看看对应的元素谱图是否发生偏移或者变化。

仪器名称：Escalab 250Xi

源枪类型：Al K Alpha 通能：50.0ev

光斑尺寸：500nm

能量步长：0.1ev 扫描圈数：10

通过黑暗和光照的对应的全谱和精细谱数据来看的话，在对应氙灯加400CUT滤光片的入射光进行光照，会对样品的元素的对应峰造成影响和偏移，并且有着明显的改变。

在咨询了一些数据处理的方法和校正手段之后，对于数据还是挺认可的。